제품소개

진공 기술의 정점, 반도체 R&D의 가치를 더하다
line

ALD/Etcher/RTA

원자층 단위의 초정밀 증착부터 미세 패턴 식각,
고온 급속 열처리에 이르는 핵심 반도체 공정 서비스를 제공합니다

제목Rapid Thermal Annealing (RTA) System2026-01-23 10:28
작성자 Level 10

Designed for precision heat treatment within a significantly short duration, this advanced equipment utilizes high-temperature thermal energy to process semiconductor wafers. It drastically enhances electrical characteristics by effectively controlling impurity diffusion and eliminating crystalline defects.

 RTA System.png

RTA.png
RTA.png


위로 스크롤