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070-7624-7654
제품소개
진공 기술의 정점, 반도체 R&D의 가치를 더하다
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ALD/Etcher/RTA
Evaporator
PLD/Sputter
ALD/Etcher/RTA
ALD/Etcher/RTA
원자층 단위의 초정밀 증착부터 미세 패턴 식각,
고온 급속 열처리에 이르는 핵심 반도체 공정 서비스를 제공합니다
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Rapid Thermal Annealing (RTA) System
2026-01-23
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ICP-RIE System
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Atomic Layer Deposition (ALD) System
2026-01-23
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